AXCELIS GSD200离子注入机控制器维修

公司名称:北京天浦正达电子科技有限公司 价格:200元/次 具体地点:鲁能七号院 微信号:13611080985 QQ号:3382538808 联系人:闫工 20年 AXCELIS GSD200离子注入机loadlock控制器电路板维修 离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外，还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子，再经过加速器，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。 离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、横向扩散等方面进行控制，克服了常规工艺，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和控制等要求，已成为集成电路制造工艺中可少的装备。